| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科小型高频溅射设备
日本ULVAC爱发科小型高频溅射设备
特征
它是绝缘体、金属和半导体材料的溅射系统。
涡轮分子泵用于主泵送。
直径为 2 英寸，3 个阴极可进行多次沉积。
磁控溅射可实现溅射速度 30nm/min （SiO2）。
它具有基板加热系统（350°C）。
| 型 | VTR-151M/SRF （SCOTT-C3） | |
| 真空性能 | 极限压力 | 6,6×10-4帕 |
| 疏散时间 | 6,6×10-3帕/5分钟 | |
| 真空室 | 真空室 | 金属腔室 （直径 310.5mm × 160mm （H）） |
| 阴极 | 直径 2 英寸，3 路 | |
| 标准目标 | 直径 2 英寸（直径 50.8 毫米）× T1mm ×T1 毫米 | |
| 溅射有效面积 | 25 毫米 | |
| 溅射速度 | SiO2 SiO2，沉积时超过 30nm/min | |
| 膜厚分布 | SiO2 SiO2，直径 25mm 时 ±10% 以内 | |
| 基板加热温度 | 最高 350°C | |
| 最高 350 摄氏度 | 50mm ~ 90mm （可变：半固定） | |
| 排气系统 | 主泵 | 涡轮分子泵 250 L/sec |
| 液氮捕集阱 | ー | |
| 副泵 | 油旋转泵200L/min | |
| 油雾捕集器 | 油雾捕集器 OMT-200A | |
| 作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
| 副阀 | 三通阀 | |
| 自动泄漏阀 | 选择 | |
| 控制 | 手动控制 | |
| 控制系统 | 射频电源 | 最大 300W （0~300W 可变） |
| 皮拉尼真空计 | GP-1GRY 系列 | |
| 电离真空计 | 编号：ISG1/SH2-1 | |
| 设置 | 外部尺寸 | 1081 毫米（宽）×853 毫米（深）×1104 毫米（高） |
| 重量 | 400 公斤 | |
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