| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科小型排气设备
日本ULVAC爱发科小型排气设备
特征
通过玻璃钟罩易于查看，易于维护。
真空室可以在不停止主泵的情况下打开。
由于增加了蒸发电源和电极，因此可以同时进行蒸发和多层蒸发。
它是带脚轮的易于移动的真空泵系统。
| 型 | VPC-260F系列 | |
| 规范 | 极限压力 | 1.3×10-3 帕 6.6×10-4Pa（带 LN 冷阱） |
| 疏散时间 | 4.0×10-3帕/20分钟 1.3×10-3Pa/20min（带LN冷阱） | |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃钟罩 （直径 300mm × 300mm（高）） |
| 馈通套环 | 8 个端口（第 8 侧） | |
| 推荐基板尺寸（最大基板尺寸）※1 | □50mm ・ □140mm（最大） | |
| 电源系统 | 蒸发电极结构 | 1 积分 |
| 蒸发电极 / 电源 | SEREM “PSE-150C" 1 组 0~10V 150A（Max） | |
| 排气系统 | 主泵 | 油扩散泵（风冷） 200L/sec |
| 液氮捕集阱 | 选择 | |
| 副泵 | 油旋转泵100L/min | |
| 油雾捕集器 | 选择 | |
| 作系统 | 主阀 | 拍板阀 |
| 副阀 | 三通阀 | |
| 自动泄漏阀 | 选择 | |
| 控制 | 手动控制 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | 选择 |
| 电离真空计 | 选择 | |
| 设置 | 外部尺寸 Body | 530 毫米（宽）×550 毫米（深）×1135 毫米（高） |
| 电源 | 480 毫米（宽）×435.3 毫米（深）×149 毫米（高） | |
| 重量 Body | 75 公斤 | |
| 电源 | 40 公斤 | |
※1：显示最大板尺寸的值，不考虑薄膜厚度分布。
| 型 | VPC-250F系列 | |
| 所需功率 | 身体 | 100V 单相 50/60Hz 1.35kVA |
| 电源 | 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | D 级（接地电阻/100Ω 以下） | |
| 连接 | 本体 1Φ 100V | Cabtyre 电缆（带插头） 2m |
| 电源 1Φ 200V | Cabtyre 电缆（带 R2.0-5 环形舌片端子） 2m | |
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