| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,综合 |
日本ULVAC爱发科干式真空泵
日本ULVAC爱发科干式真空泵
'高抽速
在接近大气压的情况下具有高抽速，可大大缩短抽气停机时间
低功耗
ECO-SHOCK 技术实现了低功耗。（C 型）
极限压力下的功耗为行业ling 先的 0.6kW 或更低。（LS120A-C）
内置消音器可实现 61dB（A） 或更低的噪音水平。
运行成本
低 无轴封气体。
*吹扫气体为 L 型。
抽速120~1200m3/h 等级 *带机械增压泵
根据用途可选择最佳型号
C 型 ： 清洁工艺 （LS***A-C）
特点 ： 低功耗型 （内置 ECO-SHOCK）
应用 ： 用于空气和 N2 G14 溅射 / 气相沉积 /
层压 / 负载锁室 / TMP 前级泵等清洁工艺
L 型 ： 轻制程 （LS***A-L）
特点 ： 轻制程型 （带表面处理和吹扫功能）
用途 ： 蒸汽和挥发性药剂等轻制程 / 真空干燥 /
冷冻干燥 / 灰化 / 一般工业用途等
| 型 | （C：C 型） （L：L 型） | LS120A型 | LS300A型 | LS600A型 | LS1200A | |||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | |||
| 最大抽速 | m3/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
| 电源 | 200V 等级：3相，50/60Hz，AC200-240V 或 400V 等级：3相，50/60Hz，AC380-480V | |||||||||
| 功耗 *1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水 流量 | 升/分钟 | >2.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体流量 *2 | SLM 系列 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | |
| 最大水蒸气 耐受性 *3 | 公斤/小时 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | |
| 噪音 *1 | 分贝（A） | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 入口 | 入口 KF50（卧式）/ VG50（立式） | ISO-F-50 材质 | ISO-F-80 认证 | ISO-F-100 认证 | ||||||
| 出口 | 肯氟烃40 | 肯氟烃40 | 肯氟烃40 | 肯氟烃40 | ||||||
| 重量 | 公斤 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 适用标准 | CE、cTUVus | |||||||||
| 标准附件 | 电源连接器、防水电缆夹、远程连接器、电源连接器防护罩 | |||||||||
| 泵头选项 | 电源：200V 级或 400V 级，密封材料：FFKM（仅限 L 型） | |||||||||
| 外部选项 | MBP 入口法兰适配器、Packege 排气口、抗震支架、LR 兼容 单元（入口、远程）、吹扫气体阀 | |||||||||
*1：极限压力（仅供参考）
*2：C 型不提供吹扫气体。
*3：最大水蒸气耐受量是使用吹扫气体时的值。
注）C 型并非无泄漏。
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